镜头模组有分量时，PiezoMotor压电电机把走路原理做到300牛、450牛

标准 6.5 到 40 牛够小滑台。镜头组、晶圆级子系统到了公斤级，PiezoMotor 有 LTC300、LTC450 这类真空可用的大推力直线。走路原理没变：直驱、自锁、无齿隙。变的是结构件和导轨。

力大了，纳米不再只由陶瓷步距决定，安装面和导轨直线度会先开口。垂直安装还要算自重和配重。自锁能省抱闸，热和放气仍按真空规程走。

速度同样取决于波形。重载不是把 LL06 的峰值速度抄过来。先用标准力档把闭环和电缆验证完，再把负载做上去，少一次把整机推倒。

大推力定制成分高、交期更长。它解决的是“重，但还要停在纳米量级”，不是把电缸目录加一页。

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